[发明专利]基板、包括该基板的显示装置以及该显示装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201310392449.2 申请日: 2013-09-02
公开(公告)号: CN103872073B 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 金广海;崔宰凡;郑宽旭 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 余朦;王艳春
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 用于显示装置的基板被公开。一方面,基板包括:活性层,被形成在底部基板的基本所有部分上,并且包括第一区域和具有高于第一区域的载流子浓度的第二区域。基板还包括:线,与第一区域重叠;以及接触电极,将线电连接到活性层的第二区域。
搜索关键词: 基板 包括 显示装置 以及 制造 方法
【主权项】:
1.一种显示装置的制造方法,所述方法包括:在底部基板的所有区域上形成半导体层;在所述半导体层上形成薄膜晶体管的栅电极、和栅极线;形成层间绝缘层,所述层间绝缘层具有开口,所述开口暴露出:对应于电路区域的、所述半导体层的一部分,所述栅极线的一部分,以及相邻于所述栅极线的、所述半导体层的一部分;经由所述开口通过将对应于所述电路区域的所述半导体层的所述一部分、和相邻于所述栅极线的所述半导体层的所述一部分掺杂,形成活性层;以及形成与对应于所述电路区域的所述活性层接触的源电极和漏电极,以及形成与所述栅极线的所述一部分和相邻于所述栅极线的所述半导体层的所述一部分接触的接触电极。
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