[发明专利]散热膜基板结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201310380548.9 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104425407A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张榳芳 | 申请（专利权）人： | 腾瑞光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;H01L21/48;H01L33/64 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王刚 |
| 地址： | 中国台湾台中市南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种散热膜基板结构及其制造方法，其提供一种高温时散热效率佳的基板及制造方法。主要在于：在陶瓷板先做第一次高温表面活化，再将二氧化硅材料喷涂结合于陶瓷板的表面，形成双层基板，再将此双层基板再加高温表面活化，再在二氧化硅表面喷涂结合散热膜材料，该散热膜材料是由锰、铁、铜、钴化合物及盐酸、硝酸混合而成，而得形成三层式散热基板；通过二氧化硅可获得加强附着力，而使散热膜材料不会脱离陶瓷板，通过盐酸、硝酸可使散热膜材料安定，又，通过上述的二氧化硅、散热膜材料，可得极佳的散热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 板结 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种散热膜基板结构，其中在一陶瓷板上设置有结合成一体的二氧化硅，在二氧化硅表面再设置一散热膜，该散热膜材料是由锰、铁、铜、钴化合物所构成。
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