[发明专利]一种用于磷化铟生长的电控系统在审
| 申请号： | 201310355908.X | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN104372411A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 关活明 | 申请（专利权）人： | 台山市华兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 529341 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于磷化铟生长的电控系统，主要包括连接电源电路的中央处理控制电路，信息采集电路以及命令执行电路。本发明的优点在于：能精确控制、可靠性高、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磷化 生长 系统 | ||
【主权项】：
一种用于磷化铟生长的电控系统，其特征在于：包括连接电源电路的中央处理控制电路，信息采集电路以及命令执行电路，所述中央处理控制电路由控制电脑(PC)、可编程逻辑控制器(PLC)构成；所述信息采集电路主要由数据采集电路以及与数据采集电路连接的流量计构成，所述的数据采集电路与中央处理控制电路连接；所述命令执行电路主要由开关执行电路以及与开关执行电路连接的开关阀门构成，所述命令执行电路与中央处理控制电路。
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