[发明专利]背钝化太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明提供了一种背钝化太阳能电池的制作方法，在硅片制备完减反射膜后，首先形成具有镂空图案的背面场，再形成背钝化层，之后形成正电极，通过使背面场先于背钝化层形成，减少了激光开槽的步骤，避免了激光开槽对硅片的损伤；背面场为镂空结构，与背钝化层的接触面积减少，减轻了背面场对背钝化层的侵蚀程度，使背钝化层能够很好地发挥钝化作用，减少了电池背面的载流子复合，这些最终均能提高背钝化太阳能电池的转换效率。由于不需要进行激光开槽，所以简化了生产工艺；背面场为镂空结构，减少了制作背面场所需材料的用量，降低了生产成本；镂空结构的背面场能够减少由于硅铝膨胀系数差别导致的应力弯曲，降低了由电池弯曲引起的电池破碎。

主权项

一种背钝化太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括：提供硅片，所述硅片包括硅片基体、覆盖在所述硅片基体正面的掺杂层、及覆盖在所述掺杂层背离所述硅片基体一侧表面上的减反射层；在所述硅片基体的背面形成背面场，烘干所述背面场，所述背面场具有镂空图案；在所述背面场背离所述硅片基体的一侧形成背钝化层，所述背钝化层覆盖所述背面场和所述硅片基体的背面；在所述背钝化层背离所述硅片基体一侧的表面上形成背电极，烘干所述背电极；在所述减反射层背离所述硅片基体一侧的表面上形成正电极，烘干所述正电极；对烘干完所述正电极的硅片进行烧结，完成所述背钝化太阳能电池的制作。