[发明专利]喷淋头以及气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种喷淋头以及气相沉积设备。所述喷淋头包括：喷淋头体及在喷淋头体的下方设置有至少包括导电层的热壁板，且所述导电层连接有电源，如此不仅能够吸收由加热器产生的热量从而保证一定的温度，在接通电源后，电流使得导电层通电发热，能够更好的提升所述热壁板的温度，也即使得喷淋头表面的温度得到提高，同时可以使得热壁板（喷淋头表面）的温度可以调控，以适应工艺需要。因此，本发明提供的喷淋头对气相沉积工艺的适应性大大增强，能够很大程度上提高形成的膜层的质量。

主权项

一种喷淋头，用于MOCVD工艺，包括：喷淋头体，所述喷淋头体具有至少两个气体腔；所述每个气体腔皆具有多个气体管道贯穿所述喷淋头体的下表面；其特征在于，还包括一热壁板，所述热壁板间隔设置于所述喷淋头体的下方，所述热壁板具有多个通孔，至少一个气体腔的气体管道穿过所述通孔延伸到所述热壁板下方；所述热壁板至少包括导电层，所述导电层连接电源，使得所述导电层流通有电流。