[发明专利]固体拍摄装置以及固体拍摄装置的制造方法

摘要

本发明提供一种能够降低暗电流的固体拍摄装置以及固体拍摄装置的制造方法。根据本发明的一个实施方式，提供了固体拍摄装置。固体拍摄装置具备光电变换元件、固体电荷层、氮化硅膜和氧化硅膜。光电变换元件将入射光光电变换成与受光量相应的量的电荷并积累。固定电荷层被设置在光电变换元件的受光面侧，并保持负的固定电荷。氮化硅膜被设置在固定电荷层的受光面侧。氧化硅膜被设置在固定电荷层和氮化硅膜之间。

主权项

一种固体拍摄装置，具备：光电变换元件，其将入射光光电变换成与受光量相应的量的电荷并积累；固定电荷层，其设置在上述光电变换元件的受光面侧，保持负的固定电荷；在上述固定电荷层的受光面侧设置的氮化硅膜；以及在上述固定电荷层和上述氮化硅膜之间设置的氧化硅膜。