[发明专利]一种MEMS电容式压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201310164777.7 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN104142206B | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 毛剑宏;金洪 | 申请（专利权）人： | 上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L19/04;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种MEMS电容式压力传感器，其通过将桥式电路中感应电容开孔处理制作成参考电容，因为感应电容和参考电容的结构几乎相同，故，两电容温度系数一致，该两电容受温度影响程度相同，而桥式电路之输出检测信号为一差分信号，故桥式电路所输出的检测信号不受温度参数的影响，该检测信号在桥式电路部分就实现了自动温度校正，具有上述结构的压力传感器无需设置温度补偿模块，便可精准测量外界气压，液压和水压等变化。该压力传感器无需温度补偿模块的同时，该压力传感器的感应电容与参考电容均叠加在集成的基础电路上层，压力传感器面积大幅缩小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS电容式压力传感器，该压力传感器包括一桥式电路与基础电路，桥式电路与基础电路相连接，其特征在于：该桥式电路包括感应电容和参考电容，感应电容感应外界环境之压力变化，参考电容感应的压力参数与外界环境之压力参数保持一致；其中，该参考电容包括一压力腔，该参考电容的压力腔与外界连通；感应电容包括一压力腔，该感应电容的压力腔与外界隔绝。
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