[发明专利]物理量传感器及其制造方法、以及电子设备

摘要

本发明提供物理量传感器及其制造方法、以及电子设备，该物理量传感器能够具有较高的成品率。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括：基板（10）；第一可动体（20），其被设置在基板（10）上并具有第一可动电极部（21、22）；第一固定电极部（40、42），其以与第一可动电极部（21、22）对置的方式而被配置在基板（10）上；第二可动体（20），其被设置在基板（10）上并具有第二可动电极部（21、22）；第二固定电极部（40、42），其以与第二可动电极部（21、22）对置的方式而被配置在基板（10）上，在基板（10）上，于在俯视观察时位于第一可动体（20）与第二可动体（20）之间的部分（15a）上，设置有从基板（10）的主面（15）突出的支柱部（16）。

主权项

1.一种物理量传感器，包括：基板，其具备主面；第一可动体，其被设置在所述基板的所述主面的上方，并具备第一可动电极部；第一固定电极部，其以与所述第一可动电极部对置的方式而被配置在所述基板的所述主面上；第二可动体，其被设置在所述基板的所述主面的上方，并具备第二可动电极部；第二固定电极部，其以与所述第二可动电极部对置的方式而被配置在所述基板的所述主面上，在所述基板上，在俯视观察时于所述第一可动体与所述第二可动体之间，设置有从所述基板的主面突出的支柱部，在所述基板上，设置有具备侧壁和内底的凹部，所述支柱部以与所述凹部的侧壁分离的方式被设置。