[发明专利]半导体制造控制方法有效
| 申请号： | 201310065198.7 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN104021499B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 谭小兵;高磊;李晔;刘群燕;赵晨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06Q50/04 | 分类号： | G06Q50/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 牛峥,王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括开始站点和结束站点参数；该方法还包括A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息；B、从制造执行系统中获取该批在制品的开始站点和结束站点；C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。本发明能够快速准确地跳过Dummy站点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括：预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括：开始站点和结束站点参数；该方法还包括：A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息；B、从制造执行系统中获取该批在制品的开始站点和结束站点；C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。
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