[发明专利]半导体制造控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产制造领域，特别涉及一种半导体制造控制方法。

背景技术

在现有的晶圆制造中，为了制造出高质量的产品，某些制造工序之间有严格的时间间隔要求，也就是当某一工序完成后，一定要在特定时间内完成另一工序。本领域技术人员将这个特定的设定时间称为设定队列时间（Q-Time）。如图1所示，图1为制造执行系统（MES）的显示示意图。站点2（Step2）有源区光刻（AA PHOTO）完成后，一定要在72小时内完成站点7（Step7）有源区刻蚀（AA-ETCH），这里72小时就是Q-Time的一种：最大允许等待时间。为了严格的满足这种要求，操作员在处理站点1（Step1）的时候，要了解站点7（Step7）的产能和站点2（Step2）到站点7（Step7）的WIP状况，在确信Step7的产能在72小时之内能完成step2到step7之间的WIP后，操作员在MES中手工派工（Manual dispatch）跳过Step1的虚拟（Dummy）站点，执行step2的工序。这里，在半导体生产线中，各设备确定未完成的晶圆产品，简称为在制品（Work in Process，WIP）。

上述举例中，Step2为开始站点，Step7为结束站点。Step7的产能、Step7上的WIP量以及从Step2到Step7的安全系数（Safe Ratio），由Step7的操作员通知Step1的操作员。其他站点上的WIP量由各自站点的操作员通知Step1的操作员。因此，现有技术的派工方法为手工派工方法，具体可以为：

一批在制品到达Dummy站点后，操作员从MES中获取Dummy站点中Q-Time的信息，根据结束站点的产能、Q-Time以及安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的WIP总量，则手工指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。如果安全存量未超过从开始站点到结束站点上的WIP总量，则不会开始执行后续站点工序。

现有技术中，并不是每个操作员都能及时地做出正确判断，导致生产周期变长；同时手工派工也带来一定程度的误操作风险，例如，操作员出现失误，在安全存量未超过从开始站点到结束站点上的WIP总量时，仍然手工指示MES跳过Dummy站点执行后续站点工序。通常在整个晶圆制造流程中，还有很多这样的Dummy站点。因此，如何改进Dummy站点机制，以改善个人判断和手工派工所带来的风险，成为需要解决的重要问题。

发明内容

有鉴于此，本发明要解决的技术问题是：如何快速准确地跳过Dummy站点。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案具体是这样实现的：

一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括：预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括：开始站点和结束站点参数；该方法还包括：

A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息；

B、从制造执行系统中获取该批在制品的开始站点和结束站点；

C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。

所述实时派工数据库还包括：结束站点的产能，以及从开始站点到结束站点的安全系数，当虚拟站点中的设定队列时间为最大允许等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为：根据结束站点的产能、设定队列时间以及从开始站点到结束站点的安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品满足跳站条件。

如果安全存量未超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品不满足跳站条件，流程结束。

所述安全存量为结束站点的产能*设定队列时间*从开始站点到结束站点的安全系数；所述“*”表示乘号。

所述从开始站点到结束站点上的在制品总量的获取方法为：从制造执行系统上获取从开始站点到结束站点每个站点上的在制品量，并计算每个站点上的在制品量的和。

所述结束站点的产能为该站点所有机台和的单位时间产能。

当虚拟站点中的设定队列时间为最小等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为：判断实际等待时间是否大于设定队列时间，如果大于，则确认该批在制品满足跳站条件；所述实际等待时间为从制造执行系统上获取的开始站点开始工作的最小实际等待时间。