[发明专利]有机金属化学气相沉积装置和方法

摘要

本发明提供一种有机金属化学气相沉积装置，包括：反应室，在所述反应室中，通过使用第III-V族材料，将氮化物层沉积在衬底上，缓冲室，所述缓冲室连接到反应室，在所述缓冲室中布置有传送机器人，以便将所述衬底传送到反应室中和传送出反应室，气体供应设备，所述气体供应设备被配置为选择性地将氢气、氮气、和氨气中的一种或多种供应到所述缓冲室中，从而当所述缓冲室与所述反应室中的一个连通时，所述缓冲室的气氛与所述反应室的气氛相同；以及设置在所述缓冲室中的加热器。在反应室中，氮化物层沉积在衬底上，并且缓冲室的温度和气体气氛被调节为使得当传送衬底时，可以稳定地保持形成在衬底上的外延层。

主权项

一种有机金属化学气相沉积方法，包括：将衬底从缓冲室传送到第一反应室；在所述第一反应室中，在所述衬底上生长未掺杂层、n‑型掺杂层、和活性层；将所述衬底从所述第一反应室传送到第二反应室；以及在所述活性层上形成p‑型掺杂层。