[发明专利]一种测试中装置所用的热头以及一种用于测试中装置温度的控制方法在审

专利信息
申请号: 201280077693.3 申请日: 2012-12-12
公开(公告)号: CN104904007A 公开(公告)日: 2015-09-09
发明(设计)人: 吴友保 申请(专利权)人: 惊奇科技有限公司;吴友保
主分类号: H01L23/34 分类号: H01L23/34;H01L23/31
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人: 华辉
地址: 新加坡新加坡乌美路*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要: 一种测试中装置所用的热头,具有环架夹具和保护性外壳和空气室,空气室具有入气孔和复数个O环沟槽,以形成气动控制机构,包括:(a)冷却室,位于保护性外壳中,冷却室具有至少一入口和至少一出口,形成于冷却室的每一相对边缘上,用以自入口到该出口流动冷却流体,以提供冷却温度至测试中装置,测试中装置是靠近而相接于热头;(b)金属板,形成于冷却室下,其中当热头是在运作中时,金属板接触测试中装置的表面;(c)气隙,形成于冷却室和金属板间,其中气隙的尺寸是依据该冷却室和金属板间的距离而定,其中冷却室相对金属板移动;以及(d)一对线圈弹簧机构,设置于金属板的基底和夹套间,夹套于其相对边缘而覆盖冷却室。
搜索关键词: 一种 测试 装置 所用 以及 用于 温度 控制 方法
【主权项】:
一种测试中装置所用的热头,其特征在于,具有一环架夹具和一保护性外壳和一空气室,该空气室具有一入气孔和复数个O环沟槽,以形成一气动控制机构,包括:(a)一冷却室,位于该保护性外壳中,该冷却室具有至少一入口和至少一出口,形成于该冷却室的每一该相对边缘上,用以自该入口到该出口流动一冷却流体(fluid),以提供一冷却温度至测试中装置,该测试中装置是靠近而相接于该热头;(b)一金属板,形成于该冷却室下,其中当该热头是在运作中时,该金属板接触该测试中装置的该表面;(c)一气隙,形成于该冷却室和该金属板间,其中该气隙的尺寸是依据该该冷却室和该金属板间的距离而定,其中该冷却室相对该金属板移动;以及(d)一对线圈弹簧机构,设置于该金属板的基底和一夹套(jacket)间,该夹套于其相对边缘而覆盖该冷却室;其中该冷却室的该线性向下移动是通过该气动控制机制所致动;且其中该测试中装置的该温度或直接放置在该金属板下之该测试中装置的该测试温度的该热响应时间,是通过装置本身加热该测试中装置,或者当该冷却室为运作中且移动至相接于该金属板而冷却该测试中装置,而进行控制。
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