[发明专利]有源矩阵基板有效
| 申请号： | 201280063901.4 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104011587A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 美崎克纪 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1368 | 分类号： | G02F1/1368;G02F1/1343;G09F9/30;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/786 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 有源矩阵基板(100A)具有：基板(11)；TFT(10A)，其被基板支承，具有半导体层(14)、栅极电极(12g)、源极电极(16S)和漏极电极(16D)；具有拉伸应力的第一透明导电层(22)和第二透明导电层(24)，它们中的至少一方与TFT的漏极电极电连接；和无机绝缘层的叠层体(23S1)，其在第一透明导电层与第二透明导电层之间形成，叠层体具有第一无机绝缘层(23a1)、第二和第三无机绝缘层(23b1、23c1)，该第一无机绝缘层(23a1)具有拉伸应力，该第二和第三无机绝缘层(23b1、23c1)以夹着第一无机绝缘层的方式形成，具有压应力，并且，叠层体作为整体具有拉伸应力。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 矩阵 | ||
【主权项】：
一种有源矩阵基板，其特征在于，具有：基板；薄膜晶体管，其被所述基板支承，具有半导体层、栅极电极、源极电极和漏极电极；第一透明导电层和第二透明导电层，该第一透明导电层和第二透明导电层中的至少一方与所述薄膜晶体管的所述漏极电极电连接；和在所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间形成的无机绝缘层的叠层体，所述叠层体具有第一无机绝缘层、第二无机绝缘层和第三无机绝缘层，所述第一无机绝缘层具有拉伸应力，所述第二无机绝缘层和所述第三无机绝缘层以夹着所述第一无机绝缘层的方式形成，具有压应力，并且，所述叠层体作为整体具有拉伸应力。
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