[发明专利]有源矩阵基板

说明书

技术领域

本发明涉及有源矩阵基板，特别涉及适用于液晶显示装置的有源矩阵基板。

背景技术

有源矩阵型的液晶显示装置一般包括：按照每个像素作为开关元件形成有薄膜晶体管(TFT)的有源矩阵基板(有时还称为“TFT基板”)；形成有彩色滤光片等的相对基板(有时还称为“彩色滤光片基板”)；和设置在有源矩阵基板与相对基板之间的液晶层。和电连接于薄膜晶体管的像素电极与共用电极的电位差相应的电场被施加至液晶层，液晶层中的液晶分子的取向状态由于该电场而发生变化，由此能够控制各像素的光透射率，进行显示。

在有源矩阵型的液晶显示装置，与其用途相应地被提案及采用各种各样的显示模式。作为显示模式，能够列举TN(Twisted Nematic：扭转向列)模式、VA(Vertical Alignment：垂直取向)模式、IPS(In-Plane Switching：面内开关)模式、FFS(Fringe Field Switching：边缘场开关)模式等。

在这些液晶显示装置中，存在如下方式：有源矩阵基板具有两个透明导电层，在该两个透明导电层之间形成有无机绝缘层。为了说明的简便，将由在中间夹着无机绝缘层的两个透明导电层形成的电极的结构，称为“2层电极结构”。

例如，在一般的FFS模式中，如在专利文献1中公开的那样，下层的透明导电层作为共用电极设置，上层的透明导电层作为形成有多个狭缝的像素电极设置。另外，如在专利文献2中公开的那样，也已知有在FFS模式中，像素电极作为下层电极设置，形成有多个狭缝的共用电极作为上层电极设置的结构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-182230号公报

专利文献2：日本特开2011-53443号公报

发明内容

发明所要解决的课题

此外，如后述那样，申请人正在对具有利用2层电极结构的辅助电容的液晶显示装置进行研究开发。具体而言，对以下层的透明导电层为辅助电容相对电极(被供给共用电压或辅助电容相对电压)、并以上层的透明导电层为像素电极的结构进行研究。该液晶显示装置例如为VA模式，但是也能够应用于其它显示模式。

本发明发现具有上述的2层电极结构的有源矩阵基板具有以下的问题，详细情况参照比较例在之后进行说明。

首先，在2层电极结构中，存在如下问题：即，在两个透明导电层之间形成的层间绝缘膜(图8所示的比较例的有源矩阵基板200A的第三层间绝缘层23P)与透明导电层的紧贴性低，容易剥落的问题。

进一步，关于2层电极结构，为了改善透明导电层与层间绝缘膜的紧贴性，研究了各种无机绝缘层，发现存在如下问题：即，当使用能够提高紧贴性的无机绝缘层(例如，具有拉伸应力的氮化硅(SiN_x)层)时，透明导电层(一般由以ITO(铟锡氧化物)或IZO(铟锌氧化物)等为代表的透明无机氧化物形成)由于氮化硅层，界面附近的氧化物被还原而金属化，结果是透明导电层的光的透射率降低的问题。

本发明的目的在于，提供解决了上述问题的至少一部分的有源矩阵基板。

用于解决课题的方式

本发明的实施方式的有源矩阵基板具有：

基板；

薄膜晶体管，其被上述基板支承，具有半导体层、栅极电极、源极电极和漏极电极；

第一透明导电层和第二透明导电层，该第一透明导电层和第二透明导电层中的至少一方与上述薄膜晶体管的上述漏极电极电连接；和

无机绝缘层的叠层体，其在上述第一透明导电层与上述第二透明导电层之间形成，

上述叠层体具有：具有拉伸应力的第一无机绝缘层；以及第二无机绝缘层和第三无机绝缘层，该第二无机绝缘层和第三无机绝缘层以夹着上述第一无机绝缘层的方式形成，且具有压应力，并且，上述叠层体作为整体具有拉伸应力(即、上述叠层体整体具有拉伸应力)。在本发明的实施方式的有源矩阵基板中，具有拉伸应力的上述第一无机绝缘层不与上述第一透明导电层和上述第二透明导电层中的任一层直接接触。

在一个实施方式中，上述第一无机绝缘层是折射率为1.804以下的氮化硅层。

在一个实施方式中，上述第二无机绝缘层和上述第三无机绝缘层是折射率为1.805以上的氮化硅层。