[发明专利]研磨用组合物

摘要

本发明的研磨用组合物包含磨料粒和具有亲水性基团的水溶性聚合物。使用本发明的研磨用组合物研磨后的疏水性含硅部分的水接触角，低于使用通过从本发明的研磨用组合物排除水溶性聚合物而获得的另一组合物研磨后的疏水性含硅部分的水接触角，且优选57°以下。水溶性聚合物的实例包含多糖类和醇化合物。本发明的另一研磨用组合物包含水溶性聚合物和各具有硅烷醇基团的磨料粒。当将该研磨用组合物在25℃下静置一天时，所述水溶性聚合物以基于1μm2磨料粒的表面积为5,000个以上的分子而被吸附。水溶性聚合物的实例包含具有聚氧化烯链的非离子性化合物(如聚乙二醇)。

主权项

一种研磨用组合物，其用于研磨具有疏水性含硅部分和亲水性含硅部分的研磨对象物，所述研磨用组合物包含具有亲水性基团的水溶性聚合物、和由二氧化硅形成的磨料粒，所述水溶性聚合物为聚甘油、戊醇、聚氧乙烯亚烷基二聚甘油醚、或单油酸聚氧乙烯(6)脱水山梨糖醇酯，所述磨料粒的平均缔合度为1.2～4；其中所述研磨对象物使用所述研磨用组合物研磨后的所述疏水性含硅部分的水接触角，低于所述研磨对象物用除其中不包含水溶性聚合物外具有与所述研磨用组合物相同组成的另一组合物研磨后的所述疏水性含硅部分的水接触角,且所述研磨对象物使用所述研磨用组合物研磨后，所述疏水性含硅部分的水接触角为57°以下。