[发明专利]研磨材料和研磨用组合物在审
| 申请号： | 201280027435.4 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103596727A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 三轮直也;森永均;大矢曜三;岩国真弓;杉山博保;森智雄 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种含有研磨材料和水的研磨用组合物。研磨材料含有氧化锆颗粒。根据利用粉末X射线衍射法测定的2θ为28.0°附近的衍射X射线强度和31.0°附近的衍射X射线强度算出的氧化锆颗粒的微晶尺寸均为 |
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| 搜索关键词： | 研磨 材料 组合 | ||
【主权项】：
1.一种研磨材料，其特征在于，其含有氧化锆颗粒，根据利用粉末X射线衍射法测定的2θ为28.0°附近的衍射X射线强度和31.0°附近的衍射X射线强度算出的所述氧化锆颗粒的微晶尺寸均为![]()
以上，且所述氧化锆颗粒的平均一次粒径为0.2μm以上。
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