[发明专利]单晶硅提拉用二氧化硅容器及其制造方法有效
| 申请号： | 201280018220.6 | 申请日： | 2012-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN103476974A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 山形茂 | 申请（专利权）人： | 信越石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C03C3/06;C30B15/10 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张永康;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶硅提拉用二氧化硅容器，其具有由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成的外层、及由实质上不含气泡的透明二氧化硅玻璃所构成的内层，并具有底部、弯曲部及直胴部，其特征在于，在前述内层的表面形成有槽，所述槽自至少前述底部的一部分，经由前述弯曲部，延续到至少前述直胴部的一部分。由此，提供一种单晶硅提拉用二氧化硅容器及此种二氧化硅容器的制造方法，所述单晶硅提拉用二氧化硅容器可降低提拉的单晶硅中的被称为孔隙或针孔的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 提拉用 二氧化硅 容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶硅提拉用二氧化硅容器，其具有由含有气泡的不透明二氧化硅玻璃所构成的外层、和由实质上不含气泡的透明二氧化硅玻璃所构成的内层，并且具有底部、弯曲部、和直胴部，其特征在于，在前述内层的表面形成有槽，所述槽自至少前述底部的一部分，经由前述弯曲部，延续到至少前述直胴部的一部分。
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