[发明专利]等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法

摘要

公开了一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括：室，其中执行等离子体反应以将功能膜设置到接纳在其中的物体；托台，与物体机械连接和电连接；运送机，将所述托台从所述室外运送到室内；以及电源，向所述托台供电，所述电源包括当运送所述托台时远离所述托台并当所述托台停止时与所述托台接触的移动触点。

主权项

一种等离子体增强式化学气相沉积设备，包括：室，在所述室中执行等离子体反应，以将功能膜设置到接纳在所述室中的物体；托台，与所述物体机械连接和电连接；运送机，用以将所述托台从所述室的外部运送到内部；以及电源，用以向所述托台供电，所述电源包括移动触点，当所述托台被运送时，所述移动触点远离所述托台，当所述托台被停止时，所述移动触点与所述托台接触。