[发明专利]等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法

权利要求书

1.一种等离子体增强式化学气相沉积设备，包括：

室，在所述室中执行等离子体反应，以将功能膜设置到接纳在所述室中的物体；

托台，与所述物体机械连接和电连接；

运送机，用以将所述托台从所述室的外部运送到内部；以及

电源，用以向所述托台供电，所述电源包括移动触点，当所述托台被运送时，所述移动触点远离所述托台，当所述托台被停止时，所述移动触点与所述托台接触。

2.根据权利要求1所述的设备，所述托台包括：托台触点，所述托台触点选择性地与所述移动触点面接触；以及固定件，用以将物体固定于其上。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述移动触点被弹性支撑。

4.根据权利要求3所述的设备，还包括：

开关，所述开关基于所述移动触点的弹性变形而选择性地向所述移动触点通电。

5.根据权利要求3所述的设备，其中所述电源包括安全开关，所述安全开关基于所述移动触点与所述托台的接触点之间的距离而选择性地向所述移动触点通电。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述电源的安全开关被移动以基于安全板与所述移动触点整体移动的距离和所述安全板的移动距离而供电。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述安全开关包括接触所述安全板的开关部件，所述开关部件由陶瓷材料形成。

8.根据权利要求3所述的设备，其中所述电源包括供所述移动触点接纳在其中的移动触点接纳部件和设置在所述移动触点接纳部件中的弹簧。

9.根据权利要求8所述的设备，其中所述电源的一端包括开关构件，所述开关构件的一端朝向所述移动触点接纳部件内延伸，所述开关构件的另一端与电力线连接，从而与所述移动触点选择性地连接。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述电源包括：

基座；

移动触点部件，包括所述移动触点；以及

移动发生器，所述移动发生器受到驱动而使所述移动触点在所述基座与所述移动触点部件之间移动。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述电源包括安全开关，用以基于所述移动触点部件的运动而执行通电和断电。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述移动触点部件包括移动触点、移动触点接纳部件、连接部件和安全板。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述连接构件由陶瓷材料构成，以在所述移动触点接纳部件与所述安全板之间进行绝缘。

14.根据权利要求12所述的设备，其中所述移动触点部件被整体移动，所述移动触点相对于所述移动触点接纳部件而相对移动。

15.根据权利要求10所述的设备，其中所述基座和所述移动发生器都被设置在所述室的内壁中，所述移动触点部件暴露于所述室内。

16.根据权利要求15所述的设备，还包括：

盖，用以覆盖暴露于所述室内的所述移动触点部件的顶部和侧部。

17.一种等离子体增强式化学气相沉积设备，包括：

室，在所述室中执行等离子体反应，以将功能膜设置到接纳在所述室中的物体；

至少一对电极，在所述室中相互面对，负电压被供给到所述电极；

托台，与所述物体机械联接和电连接，以将所述物体定位在所述电极之间；

运送机，用以将所述托台从所述室的外部运送到内部；以及

电源，用以向所述托台供应正电，所述电源包括移动触点，当所述托台被运送时，所述移动触点远离所述托台，当所述托台被停止时，所述移动触点与所述托台接触。

18.根据权利要求17所述的设备，其中所述移动触点被形成为与所述托台的触点进行面接触。