[发明专利]感光性树脂组合物、使用其的光致抗蚀膜、抗蚀图案的形成方法以及导体图案的形成方法有效
| 申请号： | 201280011581.8 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103430100A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 丰田大贵 | 申请（专利权）人： | 日合墨东株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/085;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及包含粘结剂聚合物、具有氨基的能够光聚合的单体、光聚合引发剂、以及具有羧基的苯并三唑衍生物的感光性树脂组合物，以及包含由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂组合物层和支撑层的光致抗蚀膜。该感光性树脂组合物以及光致抗蚀膜的分辨率和密合性良好，显影后的固化抗蚀层的脚部极小、剥离性也良好。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 光致抗蚀膜 图案 形成 方法 以及 导体 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其特征在于，其含有(A)粘结剂聚合物、(B)具有氨基的能够光聚合的单体、(C)光聚合引发剂以及(D)具有羧基的苯并三唑衍生物。
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