[发明专利]光学特性测量装置以及光学特性测量方法

摘要

经由偏振器到达试样(S)的直线偏振光通过试样(S)附加延迟之后，经由第一偏振片(9)和第二偏振片(11)到达移相器(13)的可移动镜部(131)和固定镜部(132)。而且，由这些镜部反射的测量光经由检偏振器(15)通过成像透镜(17)在检测器(19)的受光面形成干涉图像。此时，通过移动可移动镜部(131)来使由该可移动镜部(131)反射的光束与由固定镜部(132)反射的光束之间的光路长度差连续地发生变化，因此由检测器(19)检测的干涉图像的成像强度连续地发生变化，从而能够获取类似于干涉图的合成波形。通过对此进行傅里叶变换，能够得到每个波长的振幅和每个波长的双折射相位差。

主权项

一种光学特性测量装置，其特征在于，具备：a)分割光学系统，其将从入射了直线偏振光的被测量物发出的光引导到第一偏振片和第二偏振片；b)检偏振器，其使透过了上述第一偏振片的第一偏振光成分和透过了上述第二偏振片的第二偏振光成分的合成成分中的规定的偏振方向的光透过；c)成像光学系统，其将透过了上述检偏振器的光引导到同一点而形成干涉图像；d)检测部，其对上述干涉图像的光强度进行检测；e)相位差赋予单元，其使从上述第一偏振片向上述检偏振器的第一偏振光成分和从上述第二偏振片向上述检偏振器的第二偏振光成分的光路长度的差变化，由此使该第一偏振光成分和该第二偏振光成分之间的相位差变化；以及f)处理部，其对随着上述相位差的变化而由上述检测部检测出的光强度的变化的数据进行傅里叶变换，由此获取从上述被测量物发出的光的每个波长的振幅和双折射相位差。