[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物、其涂膜及酚醛清漆型酚醛树脂有效
| 申请号： | 201280010407.1 | 申请日： | 2012-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103384850A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;鹿毛孝和;今泉规史 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G8/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的目的在于，提供显影性及耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物和使用其的涂膜，提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，树脂(B)具有式(1)〔式中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基。X为式(2)(式中，R1、R2、R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。t为1或2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)。〕所示的结构单元作为重复单元，前述结构(x1)相对于结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。 |
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| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 组合 酚醛 清漆 酚醛树脂 | ||
【主权项】：
1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，所述酚醛清漆型酚醛树脂(B)具有下述式(1)所示的结构单元作为重复单元，![]()
式(1)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，X为下述式(2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)，![]()
式(2)中，R1、R2、R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基，m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数，t为1或2，所述结构(x1)相对于所述结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。
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