[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物、其涂膜及酚醛清漆型酚醛树脂

权利要求书

1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，所述酚醛清漆型酚醛树脂(B)具有下述式(1)所示的结构单元作为重复单元，

式(1)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，X为下述式(2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)，

式(2)中，R¹、R²、R³分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基，m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数，t为1或2，

所述结构(x1)相对于所述结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。

2.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述式(1)所示的结构单元为下述式(1-1)所示的结构单元，

式(1-1)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，R¹、R²分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。

3.根据权利要求2所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂(B)的重均分子量为5000～35000。

4.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述式(1)所示的结构单元为下述式(1-2)所示的结构单元，

式(1-2)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，R¹、R²分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。

5.根据权利要求4所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂(B)的重均分子量为1000～5000。

6.根据权利要求2所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂(B)如下得到：将2,5-二甲苯酚和4-羟基苯甲醛在酸催化剂存在下缩聚，从而得到下述式(2-1)所示的缩聚物，然后使该缩聚物与醛系化合物(D)在酸催化剂存在下进行反应，

7.根据权利要求4所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述酚醛清漆型酚醛树脂(B)如下得到：将2,6-二甲苯酚和4-羟基苯甲醛在酸催化剂存在下缩聚，从而得到下述式(2-2)所示的缩聚物，然后使该缩聚物与醛系化合物(D)在酸催化剂存在下进行反应，

8.根据权利要求4或5所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述醛系化合物(D)为甲醛。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，酚醛清漆型酚醛树脂(B)相对于(x1)和(x2)的总计100含有90%以上的(x1)。

10.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)，含有20～60质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)。

11.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述甲酚酚醛清漆树脂(A)是以间甲酚或对甲酚以及甲醛为必需原料制造而成的。

12.一种涂膜，其特征在于，其是将权利要求1～9中任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物涂布并使其干燥而得到的。

13.一种酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，其具有下述式(1)所示的结构单元作为重复单元，

式(1)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，X为下述式(2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)，

式(2)中，R¹、R²、R³分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基，m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数，t为1或2，

所述结构(x1)相对于所述结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上，并且，式(1)为下述式(1-1)所示的结构单元，

式(1-1)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，R¹、R²分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。

14.一种酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，其具有下述式(1)所示的结构单元作为重复单元，

式(1)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，X为下述式(2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)，

式(2)中，R¹、R²、R³分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基，m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数，t为1或2，

所述结构(x1)相对于所述结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上，并且，式(1)为下述式(1-2)所示的结构单元，

式(1-2)中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基，R¹、R²分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。