[发明专利]光致抗蚀剂用树脂组合物有效
| 申请号： | 201280006326.4 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103329042A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 今村裕治 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G8/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性，其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂，所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂，所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5‑二甲酚和2,3,5‑三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110‑220℃的温度下反应而得的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友电木株式会社，未经住友电木株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280006326.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种描摹写字模板练字法
- 下一篇：乐器DIY组件
- 同类专利
- 辐射敏感树脂组合物、树脂膜及电子部件-201480046647.6
- 新藤宽明 - 日本瑞翁株式会社
- 2014-08-25 - 2019-11-12 - G03F7/023
- 本发明提供一种辐射敏感树脂组合物，其含有：粘合剂树脂(A)、醌二叠氮系的光产酸剂(B)、(甲基)丙烯酸酯化合物(C)及光聚合引发剂(D)。根据本发明，可提供能够获得对基材显示高密合性、且透明性、感光性及耐药品性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物。
- 正型感光性树脂组合物-201580031678.9
- 古江健太郎;大野由起 - 昭和电工株式会社
- 2015-07-16 - 2019-10-25 - G03F7/023
- 本发明提供一种从加热烧成后的膜放出气体少的正型感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物，含有具有式(1)的结构的多烯基酚树脂、碱可溶性树脂及醌二叠氮化合物，式(1)中，R1、R2及R3分别独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、式(2)所表示的烯基、碳原子数1～2的烷氧基或羟基，且R1、R2及R3中的至少1个为式(2)所表示的烯基。Q分别独立地表示式‑CR4R5‑表示的亚烷基、碳原子数5～10的亚环烷基、具有芳香环的二价有机基团、具有脂环式缩合环的二价有机基团或将这些基团组合而成的二价基团。其中，所述碱可溶性树脂不包括具有式(1)的结构的多烯基酚树脂。
- 固化膜及其制造方法-201680052638.7
- 荘司优;增田有希;矶部王郎;奥田良治 - 东丽株式会社
- 2016-09-20 - 2019-05-28 - G03F7/023
- 本发明提供高伸长性、低应力性、金属铜高密合性的固化膜。本发明的固化膜是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下。
- 感光性树脂组合物、树脂膜、固化膜、半导体装置的制造方法和半导体装置-201780059665.1
- 田中裕马 - 住友电木株式会社
- 2017-11-09 - 2019-05-21 - G03F7/023
- 本发明提供一种感光性树脂组合物，其包含具有联苯酚结构的酚醛树脂(A)、光产酸剂(B)和溶剂。
- 感光性树脂组合物、耐热性树脂膜的制造方法及显示装置-201380065421.6
- 小森悠佑;越野美加;三好一登 - 东丽株式会社
- 2013-12-13 - 2019-05-07 - G03F7/023
- 本发明提供一种使用了下述聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物，所述聚酰亚胺前体在有机溶剂中的溶解性优异、且可降低得到的树脂组合物的粘度，本发明的感光性树脂组合物含有：具有酰胺基、三氟甲基和芳香环的特定结构作为主要重复单元的芳香族酰胺树脂、(b)感光剂及(c)溶剂。
- 感光性树脂组合物-201380017141.8
- 安达勲;坂口崇洋;庄田浩之 - 日产化学工业株式会社
- 2013-03-15 - 2019-05-03 - G03F7/023
- 本发明提供一种感光性树脂组合物。一种含有(A)成分、(B)成分以及溶剂的感光性树脂组合物。(A)成分：具有下述式(1)表示的结构单元以及下述式(2)表示的结构单元的共聚物，(B)成分：感光剂，
式中，R0表示羟基或羧基，R1表示氢原子或甲基，R2表示单键或碳原子数1至5的亚烷基，R3表示具有热交联性的1价的有机基团。其中，多个上述式(2)表示的结构单元中R1彼此也可以相互不同。
- 感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置-201280060449.6
- 涩井智史;平田龙也;佐佐木隆弘;山田泰辅 - 旭化成株式会社
- 2012-12-06 - 2019-04-19 - G03F7/023
- 本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定]
- 感光性树脂组合物-201380048156.0
- 本多正树;金田隆行;吉田雅彦;汤之口智恵;小仓知士 - 旭化成株式会社
- 2013-09-13 - 2019-04-19 - G03F7/023
- 提供显影残膜率较高且为高感光度，显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物，其含有：(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中，R1和R2分别独立地表示碳数2～60的2价～8价的有机基团，R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1～20的1价的有机基团，d和e分别独立地为0～2的整数且不同时为0，f和g分别独立地为0～4的整数，且n为正整数)；(b)二叠氮基醌化合物；以及(c)特定结构的酚醛树脂。
- 正型感光性树脂组合物、含有使用了其的固化膜的半导体器件的制造方法-201380049169.X
- 大西启之;增田有希;富川真佐夫 - 东丽株式会社
- 2013-09-11 - 2019-03-29 - G03F7/023
- 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物经250℃以下的低温烧成，可以获得低翘曲、且高灵敏度和高分辨率的优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有(a)具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂、和(b)醌二叠氮感光剂，所述具有通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺树脂的酰亚胺化率为85％以上，并且，通式(1)所示的结构单元和通式(2)所示的结构单元的比为30：70～90：10。(通式(1)中，X1表示具有1～4个芳香族环的四羧酸残基，Y1表示具有1～4个芳香族环的芳香族二胺残基。通式(2)中，X2表示具有1～4个芳香族环的四羧酸残基，Y2表示在主链上至少具有2个以上的亚烷基二醇单元的二胺残基。)
- 正型感光性硅氧烷组合物-201380060802.5
- 野中敏章;横山大志;福家崇司;田代裕治 - AZ电子材料（卢森堡）有限公司
- 2013-11-14 - 2019-03-15 - G03F7/023
- 一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有：(I)在四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液中的溶解速度不同的至少两种以上的聚硅氧烷、(II)预烘烤后的膜在2.38％重量TMAH水溶液中的溶解速度为50～1,000
/秒的具有除了硅烷醇基以外的TMAH水溶液可溶性基团的聚硅氧烷、(III)重氮基萘醌衍生物以及(IV)溶剂。
- 蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物、使用其的基板的制造方法和发光元件的制造方法-201780015983.8
- 小林秀行;弓场智之 - 东丽株式会社
- 2017-03-17 - 2018-10-23 - G03F7/023
- 蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物，其是含有（A）以通式（1）所示的结构单元作为主成分的聚酰亚胺、和（B）光产酸剂的组合物，其特征在于，聚酰亚胺（A）的酰亚胺基当量为0.0025摩尔/g以上，[化学式1]
(1)在通式（1）中，R1表示碳原子数为2～50的二价的有机基团，R2表示碳原子数为2～50的三价或四价的有机基团，m1为0或1，c1为0或1，当m1＝0时，c1＝1，当m1＝1时，c1＝0。可提供蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物，所述蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物即使在形成100℃～300℃的高温下的高功率干法蚀刻处理中也不产生抗蚀剂燃烧、碳化，且即使在低温下进行抗蚀剂固化，也可得到高的蚀刻耐性，因此能够得到面内均匀性高的蓝宝石图案。
- 感光性树脂组合物及电子部件-201680013754.8
- 小山祐太朗;奥田良治;增田有希;北村友弘;荘司优 - 东丽株式会社
- 2016-02-29 - 2017-11-28 - G03F7/023
- 本发明提供一种树脂，所述树脂用于感光性树脂组合物时具有高伸长率、低应力性、高敏感度、高残膜率。本发明为一种感光性树脂组合物，其含有树脂，所述树脂的特征在于，具有通式(1)及/或(2)表示的结构，并且，(a)含有10～80摩尔％具有脂环结构的碳原子数为4～40的有机基团作为通式(1)及(2)的R1，(b)含有10～80摩尔％具有聚醚结构的碳原子数为20～100的有机基团作为通式(1)及(2)的R2。(通式(1)及(2)中，R1表示具有单环式或稠合多环式的脂环结构的碳原子数为4～40的四价有机基团。R2表示具有聚醚结构的碳原子数为20～100的二价有机基团。R3表示氢或碳原子数为1～20的有机基团。n1、n2各自表示10～100,000的范围，p、q表示满足0≤p+q≤6的整数。)
- 正型感光性硅氧烷组合物、有源矩阵基板、显示装置以及有源矩阵基板的制造方法-201680007695.3
- 野寺伸武;篠塚章宏;小岩真司;加藤真裕;松本隆夫;福家崇司;横山大志;谷口克人 - 堺显示器制品株式会社;AZ电子材料(卢森堡)有限公司
- 2016-02-03 - 2017-09-26 - G03F7/023
- 本发明提供一种正型感光性硅氧烷组合物，其形成的膜具有高耐热性、高强度以及高耐裂纹性；一种有源矩阵基板，不产生副产物，不良的产生被加以抑制，容易以低价形成层间绝缘膜，透射率良好；具备该有源矩阵基板的显示装置以及该有源矩阵基板的制造方法。有源矩阵基板(30)具备在绝缘基板(10)上相互平行地延伸地设置的多条栅极布线(11)、和在与各栅极布线(11)交叉的方向相互平行地延伸地设置的多条源极布线(12)。在源极布线(12)的下侧且包含栅极布线(11)与源极布线(12)的交叉部分的部分，夹杂层间绝缘膜(14)及栅极绝缘膜(15)。层间绝缘膜(14)使用正型感光性硅氧烷组合物而形成，不使用光阻。
- 微透镜用感光性树脂组合物-201180056901.7
- 庄田浩之;坂口崇洋;岸冈高广 - 日产化学工业株式会社
- 2011-11-21 - 2017-05-10 - G03F7/023
- 本发明的课题是提供微透镜用感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法是含有(A)成分、(B)成分和溶剂的微透镜用感光性树脂组合物。(A)成分具有下述式(1)所示的马来酰亚胺结构单元和下述式(2)所示的重复结构单元的共聚物，(B)成分感光剂，(上述式(2)中，R0表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数1～5的亚烷基，R2表示具有热交联性的1价有机基团。其中，上述式(2)所示的重复结构单元中R0彼此可以互不相同)。
- 感光性树脂组合物-201280024213.7
- 汤川升志郎 - 日产化学工业株式会社
- 2012-05-09 - 2017-03-22 - G03F7/023
- 本发明的课题是，提供能够明显改善透明性、耐热性、耐热变色性、耐溶剂性、和构图性的感光性树脂组合物。因而提供了一种感光性树脂组合物，含有聚合物(A)和感光剂(B)，所述聚合物(A)以构成聚合物的结构单元的总摩尔数的20～100摩尔%的比例含有带硼酸基的结构单元、带硼酸酯基的结构单元、或这些结构单元的组合。聚合物(A)的重均分子量是1000～50000。并且提供了由上述感光性树脂组合物得到的固化膜，以及由上述感光性树脂组合物制作的微透镜形成用感光性树脂组合物。
- 永久膜用感光性组合物、抗蚀材料及涂膜-201580031521.6
- 今田知之;木本诚二;佐藤勇介 - DIC株式会社
- 2015-05-19 - 2017-02-22 - G03F7/023
- 本发明的目的在于提供一种感光灵敏度、分辨率、耐热性及耐吸湿性优异、并且在高温环境下不易发生污染、适合作为永久膜的材料的感光性组合物等，提供一种永久膜用感光性组合物，其含有羟基萘酚醛清漆树脂，不含固化剂、或含有相对于前述树脂100质量份为50质量份以下的固化剂，所述羟基萘酚醛清漆树脂具有通式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元，且通式(2)所示的羟基萘类(A)的含量以树脂固体成分换算计为2质量％以下[式中，R1表示氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子，多个存在的R1可以彼此相同也可以不同，R2表示氢原子、烷基或芳基，p表示1或2，q表示4或5。其中，p与q之和为6。]。
- 感光性树脂组合物以及使用其的感光性膜-201380064222.3
- 上田智子;泽边贤 - 日立化成株式会社
- 2013-12-05 - 2015-08-26 - G03F7/023
- 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，其含有：(A)具有不饱和烃基的改性酚醛清漆型酚醛树脂、(B)由间甲酚和对甲酚得到的酚醛清漆型酚醛树脂、(C)由邻甲酚得到的酚醛清漆型酚醛树脂、(D)通过光生成酸的化合物、以及(E)多元酸或多元酸酐，(E)成分的含量相对于(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分的总量100质量份小于40质量份。
- 光学材料用永久膜的制造方法、利用所述方法制作的硬化膜、使用所述硬化膜的有机EL显示装置及液晶显示装置-201380021805.8
- 佐竹亮;安藤豪;山下史绘;中村秀之 - 富士胶片株式会社
- 2013-04-25 - 2014-12-31 - G03F7/023
- 本发明提供一种光学材料用永久膜的制造方法，其对感光性树脂组合物进行曝光并将所述曝光部去除，使其剩余部分硬化而制成永久膜，并且上述感光性树脂组合物含有(A)特定交联性聚合物、(B)1，2-醌二叠氮化合物及(C)溶剂，通过移相部的透射率为0.1％以上、50％以下的半色调相位差掩模，对所述感光性树脂组合物照射选自g射线、h射线及i射线中的活性放射线，对上述树脂进行曝光。
- 感光性树脂组合物、感光性组件、感光性组件卷及光阻图案的形成方法-201410128975.2
- 泽边贤;野尻刚 - 日立化成工业株式会社
- 2006-07-19 - 2014-06-18 - G03F7/023
- 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性组件、感光性组件卷及光阻图案的形成方法，所述感光性树脂组合物含有（a）由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物和（b）1,2-重氮醌化合物。
- 正型感光性硅氧烷组合物-201280023185.7
- 横山大志;福家崇司;田代裕治;关藤高志;野中敏章 - AZ电子材料IP（日本）株式会社
- 2012-05-15 - 2014-01-22 - G03F7/023
- 一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有：将由通式(1)R1nSi(OR2)4-n表示的硅烷化合物进行水解和缩合而获得的(A)预烘烤后的膜可溶于5重量%TMAH水溶液并且其溶解速度为
秒以下的聚硅氧烷、(B)预烘烤后的膜对2.38重量%TMAH水溶液的溶解速度为
秒以上的聚硅氧烷、(C)预烘烤后的膜对2.38重量%TMAH水溶液的溶解速度为
秒以上
秒以下的聚硅氧烷这三种聚硅氧烷中的各至少一种；重氮基萘醌衍生物；以及溶剂。(式中，R1表示任意的亚甲基可被氧取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状烷基，或者碳原子数6～20并且任意的氢可被氟取代的芳基，n为0或者1，R2表示碳原子数1～5的烷基)。
- 树脂组合物和半导体元件基板-201280014810.1
- 田口和典 - 日本瑞翁株式会社
- 2012-03-29 - 2013-12-11 - G03F7/023
- 本发明提供一种树脂组合物，其特征在于，含有粘合剂树脂(A)、硅烷改性树脂(B)及具有酸性基团或热潜伏性酸性基团的化合物(C)，该树脂组合物中，上述硅烷改性树脂(B)和上述具有酸性基团或热潜伏性酸性基团的化合物(C)的比例，以重量比计，为“硅烷改性树脂(B)/具有酸性基团或热潜伏性酸性基团的化合物(C)”＝0.5～20。
- 正型光致抗蚀剂组合物、其涂膜及酚醛清漆型酚醛树脂-201280010407.1
- 今田知之;鹿毛孝和;今泉规史 - DIC株式会社
- 2012-04-10 - 2013-11-06 - G03F7/023
- 本发明的目的在于，提供显影性及耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物和使用其的涂膜，提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其相对于100质量份甲酚酚醛清漆树脂(A)含有3～80质量份的酚醛清漆型酚醛树脂(B)，树脂(B)具有式(1)〔式中，R为氢原子或碳原子数1～12的烃基。X为式(2)(式中，R1、R2、R3分别独立地为氢原子、碳原子数1～8的烷基。m和n分别独立地为1～4的整数，p为0～4的整数。t为1或2)所示的结构(x1)、或结构(x1)以外的芳香族烃基(x2)。〕所示的结构单元作为重复单元，前述结构(x1)相对于结构(x1)和结构(x2)的总数的含有率为85%以上。
- 正型感光性组合物及其固化物-201280007372.6
- 竹之内宏美;尾见仁一 - 株式会社艾迪科
- 2012-04-26 - 2013-10-30 - G03F7/023
- 一种正型感光性组合物，其含有：（A）具有使式（1）表示的化合物与式（2）表示的化合物发生水解-缩合反应而得到的结构的含硅烷醇基的聚硅氧烷化合物、（B）具有至少2个含环氧基有机基团的化合物、（C）邻叠氮萘醌类、以及（D）有机溶剂。R1表示C1～4的烷基等，R2表示C2～10的2价烃基，R3表示C2～10的2价饱和脂肪族烃基，X表示由通式（3）～（5）表示的基团（详细情况参见说明书）。m、n和p表示满足m：n：p为1：2.1～12：1～6以及m+n+p为3～6的数。R4表示C1～4的烷基等，R5表示C1～4的烷基，a表示1～2。
- 光致抗蚀剂用树脂组合物-201280006326.4
- 今村裕治 - 住友电木株式会社
- 2012-02-20 - 2013-09-25 - G03F7/023
- 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性，其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂，所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。
- 正型光致抗蚀剂组合物-201180054438.2
- 今田知之;鹿毛孝和;今泉规史 - DIC株式会社
- 2011-10-25 - 2013-08-28 - G03F7/023
- 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有将下述通式（1）或（2）所示的芳香族化合物（A）和脂肪族醛（B）缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂（C）作为必需成分。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。（式中，R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1～8的烷基。另外，m、n和p分别独立地为0～4的整数，q为1～（5-p）的整数，s为1～（9-p）的整数。）
- 降冰片烷-基PAC BALLAST和包含该PAC的正色调光敏树脂组合物-201180046667.X
- A·贝尔;濑户圭太郎;真壁裕明 - 普罗米鲁斯有限责任公司;住友电木株式会社
- 2011-09-28 - 2013-08-14 - G03F7/023
- 本发明的实施方案提供降冰片烷-类ballast材料，由这一ballast材料衍生的降冰片烷-类光活性化合物，和包括这一降冰片烷-类光活性化合物和PBO或PNB树脂之一的碱可溶的正色调聚合物组合物。
- 正型光致抗蚀剂组合物-201180054437.8
- 鹿毛孝和;今泉规史 - DIC株式会社
- 2011-10-25 - 2013-07-17 - G03F7/023
- 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有甲酚酚醛清漆树脂（A）和酚醛清漆型酚醛树脂（B），所述甲酚酚醛清漆树脂（A）是以间甲酚、对甲酚和甲醛为必需原料制造的，所述酚醛清漆型酚醛树脂（B）是以邻甲酚、间苯二酚和甲醛为必需原料制造的。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作在由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的抗蚀剂。
- 光致抗蚀剂用树脂组合物-201180040734.7
- 大西治;池田阳雄 - 住友电木株式会社
- 2011-08-23 - 2013-04-24 - G03F7/023
- 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特别具有高耐热性、且具有良好的感光度·分辨率和高残膜性，其它特性也不劣于通用的光致抗蚀剂用树脂组合物。所述光致抗蚀剂用树脂组合物含有酚醛树脂、环状烯烃树脂以及含萘醌二叠氮基的化合物，优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂，该降冰片烯树脂优选具有酸性基团，特别是酚基，分子量为1000～500000道尔顿。
- 感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜和使用它们的半导体器件-201180031004.0
- 仁王宏之 - 东丽株式会社
- 2011-06-10 - 2013-03-20 - G03F7/023
- 本发明提供固化后的应力小、热压接后的粘合性优异的感光性树脂组合物和感光性树脂组合物膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，含有以下成分：(a)碱溶性聚酰亚胺，具有下述通式(1)所示的结构单元，且在主链的至少一个末端具有通式(2)和/或(3)所示的结构；(b)分子内具有2个以上的环氧基和/或氧杂环丁烷基的化合物；(c)醌二叠氮化合物，其中丙烯酸树脂的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)小于10重量份，化合物(b)的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)为20重量份以上。
- 感光性树脂组合物及显示器装置-201180023789.7
- 畑中真;服部隼人 - 日产化学工业株式会社
- 2011-05-11 - 2013-02-13 - G03F7/023
- 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其可以通过固化，获得满足对于电极保护膜、平坦化膜及绝缘膜的基本的要求性能、并且具备近年的各种显示器装置的材料中所要求的高硬度的膜。另外，还提供一种机械强度优异的显示器装置。本发明的感光性树脂组合物含有：带有在末端具有不饱和键的侧链的碱可溶性丙烯酸聚合物、醌二叠氮化合物、倍半硅氧烷、以及溶剂，本发明的显示器装置具有将该树脂组合物固化而成的膜。
- 专利分类
