[实用新型]半导体产品检测机有效

专利信息
申请号: 201220711825.0 申请日: 2012-12-21
公开(公告)号: CN203225236U 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 魏冬;张建华;李震宇;吕松霖;陈安利;李磊 申请(专利权)人: 日月光半导体(昆山)有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01N21/89;G01B11/00
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 215341 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种半导体产品检测机,其包含一工作站台、一计算机单元、一识别相机及至少一检测相机。所述识别相机针对一半导体产品条上的一识别码进行辨识,并调出对应的映像图电子文档;所述至少一检测相机截取所述半导体产品的影像与一影像比对档进行一比对检测作业,并将一检测结果记录于所述计算机单元对应的映像图电子文档。本实用新型的半导体产品检测机除了能实现自动光学检测和避免人工标记或激光刻印于缺陷产品(不良品或次级品)时人为的操作或判断错误,也能防止缺陷产品(不良品或次级品)与良品混料,从而提高半导体成品的质量。
搜索关键词: 半导体 产品 检测
【主权项】:
一种半导体产品检测机,其特征在于:所述半导体产品检测机包含: 一工作站台,设有一上料端、一工作区、一下料端及一输送装置,所述输送装置用于将一待测的半导体产品条由所述上料端传送至所述工作区进行检测作业,并将检测完成的所述半导体产品条由所述工作区传送至所述下料端,所述半导体产品条具有数个待测半导体产品; 一计算机单元,储存所述半导体产品条的一映像图电子文档及一影像比对档; 一识别相机,设于所述上料端与所述工作区之间,并讯号连接至所述计算机单元,用于对所述半导体产品条上的一识别码进行辨识,并调出对应的映像图电子文档;及 至少一检测相机,设于所述工作区,并讯号连接至所述计算机单元,用于截取所述半导体产品的影像与所述影像比对档进行一比对检测作业,并将一检测结果记录于所述计算机单元对应的映像图电子文档。
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