[实用新型]一种半导体角槽定向仪

摘要

一种半导体角槽定向仪，包括机台，机台上固定有X射线发生器。机台上位于X射线发生器的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有涡轮蜗杆副，涡轮蜗杆副的蜗杆一端连接手轮，蜗杆的另一端装设有编码器，涡轮与一主轴相连接，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，其穿出端固定一托板，托板上装设有定位块，定位块通过手轮摇动丝杠使定位块与被测晶体的角槽重合，托板上安装旋转托盘及滑板，旋转托盘上设置有显示面板。本实用新型能够检测出角槽的晶向位置是否符合生产要求，并且以角槽为基准可以检测其他晶向的角度。从而提高产品合格率，及工作效率。

主权项

一种半导体角槽定向仪，包括机台，机台上固定有X射线发生器，其特征在于所述的机台上位于X射线发生器的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有涡轮蜗杆副，涡轮蜗杆副的蜗杆一端连接手轮，蜗杆的另一端装设有编码器，涡轮与一主轴相连接，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，其穿出端固定一托板，托板上装设有定位块，托板上装设有旋转托盘及滑板，旋转托盘上设置有显示面板，滑板上装设有晶棒夹紧夹具，晶棒夹紧夹具上装设有手摇丝杠。