[实用新型]太阳能电池板式PECVD设备用基片

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，特别是涉及一种太阳能电池板式PECVD设备用基片，所述基片为长方体薄板，基片横向一侧边部沿纵向设有一列上部为矩形下部为半圆形的组合凹槽，基片横向的另一侧靠近边部沿纵向与组合凹槽相对应设有一列通孔，所述组合凹槽的宽度为a1，通孔的直径为a2，则a1＝a2，基片纵向的一侧中部沿横向依次设有矩形凹槽、等腰梯形凹槽、等腰三角形凹槽和直角梯形凹槽，所述矩形凹槽的深度为h1，等腰梯形凹槽的深度为h2，等腰三角形凹槽的深度为h3，直角梯形凹槽的深度为h4，则h1＞h2＝h4＞h3；所述基片采用不锈钢316制成。本实用新型由于形状规则，有一定规律性，所以有助于镀膜的均匀性，进而有利于提高电池片的光电转换效率，非常适于推广实施。

主权项

一种太阳能电池板式PECVD设备用基片，其特征是：所述基片为长方体薄板，基片横向一侧边部沿纵向设有一列上部为矩形下部为半圆形的组合凹槽，基片横向的另一侧靠近边部沿纵向与组合凹槽相对应设有一列通孔，所述组合凹槽的宽度为a1，通孔的直径为a2，则a1＝a2，基片纵向的一侧中部沿横向依次设有矩形凹槽、等腰梯形凹槽、等腰三角形凹槽和直角梯形凹槽，所述矩形凹槽的深度为h1，等腰梯形凹槽的深度为h2，等腰三角形凹槽的深度为h3，直角梯形凹槽的深度为h4，则h1＞h2＝h4＞h3。