[发明专利]单体,聚合物和光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201210597635.5 | 申请日： | 2012-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN103121951A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 孙纪斌;Y·C·裴;朴钟根;李承泫;C·安德斯 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C67/11 | 分类号： | C07C67/11;C07C69/67;G03F7/09;C08F220/32;C08F220/28;C08F220/18;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
单体，聚合物和光致抗蚀剂组合物。提供了一种以下通式(I)的单体，其中：R1表示氢或甲基 |
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| 搜索关键词： | 单体 聚合物 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种以下通式(I)的单体：![]()
其中：R1表示氢或甲基。
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