[发明专利]感光晶体管、其制造方法以及使用感光晶体管的显示面板

摘要

本发明提供了感光晶体管、使用感光晶体管的显示面板、及感光晶体管的制造方法。感光晶体管包括：栅极层；栅绝缘层，在栅极层上；沟道层，在栅绝缘层上；蚀刻停止层，在沟道层的部分区域上；源极和漏极，在沟道层上并彼此分离开，其中蚀刻停止层插置在源极和漏极之间；以及钝化层，覆盖源极、漏极和蚀刻停止层，其中源极与蚀刻停止层分离开。

主权项

一种感光晶体管，包括∶栅极层；栅绝缘层，在所述栅极层上；沟道层，在所述栅绝缘层上；蚀刻停止层，在所述沟道层的部分区域上；源极和漏极，在所述沟道层上并彼此分离开，其中所述蚀刻停止层插置在所述源极和所述漏极之间；以及钝化层，覆盖所述源极、所述漏极和所述蚀刻停止层，其中所述源极与所述蚀刻停止层分离开。