[发明专利]红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法有效
| 申请号： | 201210529355.0 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103000766A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王宪谋;张敏;谢珩 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 吴永亮 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法，该方法包括：将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶，并进行固化；在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶；将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石片衬底上；用预定曝光量值的紫外线照射所述宝石片衬底，使所述探测器通过紫外固化粘接胶固定在所述宝石片衬底上；划片结束后，将所述探测器和所述宝石片衬底置于丙酮溶液中进行加热脱附。该方法省去了通过石蜡固定后擦拭石蜡的步骤，有效避免了擦拭石蜡过程中对探测器铟柱的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 平面 探测器 划片 方法 | ||
【主权项】：
一种红外焦平面探测器铟柱的划片粘接方法，其特征在于，包括：将探测器生长有铟柱的一侧涂覆光刻胶，并进行固化；在透明的宝石片衬底上均匀涂覆紫外固化粘接胶；将所述探测器没有涂光刻胶一侧放置在涂覆有紫外固化粘接胶的所述宝石片衬底上；用预定曝光量值的紫外线照射所述宝石片衬底，使所述探测器通过紫外固化粘接胶固定在所述宝石片衬底上；划片结束后，将所述探测器和所述宝石片衬底置于丙酮溶液中进行加热脱附。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
