[发明专利]片盒倾斜及归位装置有效
| 申请号： | 201210439420.0 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103811384A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 童宇波 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种片盒倾斜及归位装置。包括片盒、片盒底板、片盒底托架及运动机构，其中片盒安装在片盒底板上，所述片盒底板的前端与片盒底托架铰接，后端的下方设有定位槽，片盒底板在该定位槽处连接有使片盒底板的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构。本发明通过片盒的倾斜和其后的自动归位的动作，使承载在片盒中的晶圆能有效插入片盒的最内侧，避免了人为因素造成晶圆在片盒中位置的不正确，达到节省人力提高生产效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜 归位 装置 | ||
【主权项】：
一种片盒倾斜及归位装置，其特征在于：包括片盒(3)、片盒底板(2)、片盒底托架(1)及运动机构，其中片盒(3)安装在片盒底板(2)上，所述片盒底板(2)的前端与片盒底托架(1)铰接，后端的下方设有定位槽，片盒底板(2)在该定位槽处连接有使片盒底板(2)的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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