[发明专利]片盒倾斜及归位装置有效
| 申请号： | 201210439420.0 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103811384A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 童宇波 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 倾斜 归位 装置 | ||
1.一种片盒倾斜及归位装置，其特征在于：包括片盒(3)、片盒底板(2)、片盒底托架(1)及运动机构，其中片盒(3)安装在片盒底板(2)上，所述片盒底板(2)的前端与片盒底托架(1)铰接，后端的下方设有定位槽，片盒底板(2)在该定位槽处连接有使片盒底板(2)的后端以前端为旋转轴摆动的运动机构。
2.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒底板(2)后端下方的定位槽沿晶圆插入方向开设、并由浅到深。
3.按权利要求2所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述运动机构包括气缸(13)、导向块(14)及安装支架(15)，其中导向块(14)与气缸(13)的活塞杆连接，所述气缸(14)通过安装支架(15)安装在片盒底托架(1)上、并位于片盒底板(2)的下方，所述导向块(14)与片盒底板(2)后端的定位槽抵接、并通过气缸(13)的驱动在定位槽内水平方向往复移动。
4.按权利要求3所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述气缸(13)与用来调节气缸活塞运行速度的调速阀(11)连接。
5.按权利要求3所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒底板(2)的下方连接有衬板(12)。
6.按权利要求3所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述导向块(14)位于定位槽前端(16)时，片盒底板(2)处于归位状态；所述导向块(14)位于定位槽后端(17)时，片盒底板(2)处于倾斜状态。
7.按权利要求1所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒(3)通过四个固定块安装在片盒底板(2)上。
8.按权利要求1或2所述的片盒倾斜及归位装置，其特征在于：所述片盒底板(2)的前端通过两个铰链与片盒底托架(1)连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
