[发明专利]陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法有效
| 申请号： | 201210417978.9 | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103090858B | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5769 | 分类号： | G01C19/5769 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 黄威,苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法。所述陀螺传感器具有良好的灵敏度特性及频带特性。本发明涉及的陀螺传感器(100)包括驱动部(110)，其具备与驱动用弹簧部(114)相连接的驱动用支承部(112)；检测部(120)，其具备经由检测用弹簧部(124)而与驱动用支承部(112)相连接的检测用支承部(122)，驱动用支承部(112)能够在第一轴(X轴)的方向上进行振动，检测用支承部(122)能够在与第一轴(X轴)正交的第二轴(Y轴)的方向上进行位移，当将驱动部(110)的共振频率设定为f1，将检测部(120)的共振频率设定为f2，将驱动用弹簧部(114)的宽度设定为w1，并将检测用弹簧部(124)的宽度设定为w2时，将满足下述式(1)，即，0.87(f2/f1)≤(w2/w1)≤1.13(f2/f1)…(1)，但是，w1≠w2且f1≠f2。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺 传感器 电子设备 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种陀螺传感器，包括：驱动部，其具备与驱动用弹簧部相连接的驱动用支承部；检测部，其具备检测用支承部，所述检测用支承部经由检测用弹簧部而与所述驱动用支承部相连接，所述驱动用支承部能够在第一轴的方向上进行振动，所述检测用支承部能够在与所述第一轴正交的第二轴的方向上进行位移，当将所述驱动部的共振频率设定为f1，将所述检测部的共振频率设定为f2，将所述驱动用弹簧部的宽度设定为w1，并将所述检测用弹簧部的宽度设定为w2时，将满足下述式（1），即，0.87(f2/f1)≤(w2/w1)≤1.13(f2/f1)…（1），但是，w1≠w2且f1≠f2。
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