[发明专利]三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种透明导电薄膜的制备方法，特别涉及一种三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法。其目的在于提供一种通过Al、N、F三元素共掺，以减少ZnO基透明导电薄膜中的缺陷，增加载流子浓度，从而获得一种具有优良光电性能的新型透明导电薄膜，使其得到更好利用。本发明的目的是采用下述技术方案实现的：它包括以下步骤：前处理；溶胶配制：其中Al3+和NH4+的掺杂比为2:1，NH4+和F-的浓度相等；旋涂镀膜；热处理。本发明的有益效果是：利用Al3+、NH4+和F-的共掺杂，减少ZnO基透明导电薄膜中的缺陷，增加载流子浓度，从而获得一种具有优良光电性能的新型透明导电薄膜。

主权项

一种三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤： A）前处理：将普通载玻片先后放入丙酮（C3H6O）、无水乙醇及去离子水中进行超声清洗，然后吹干备用；B）溶胶配制：将二水合乙酸锌(CH3COO)2Zn·2H2O溶于乙二醇甲醚（C3H6O2）后，加入Al3+，然后加入NH4+和F‑；其中Al3+和NH4+的掺杂比Al3+/NH4+为2:1，NH4+和F‑的浓度相等；最后加入与乙酸锌等摩尔的单乙醇胺（MEA）；将上述混合液放入40‑80°C水浴锅中搅拌2h，然后陈化48h得到溶胶；C）旋涂镀膜：将通过A）步骤前处理后的载玻片放置于匀胶机的载物台上，把通过B）步骤陈化好的溶胶滴加在玻璃衬底上，旋转，烘干；D）热处理：将通过C）步骤处理后的镀膜载玻片于150‑400°C下预烧后，继续C）步骤，如此重复涂镀4‑14层后，在450‑700°C条件下退火1h。