[发明专利]正型感光性组合物

摘要

本发明提供一种正型感光性组合物，其适合于形成高耐热性、高耐溶剂性、高透射率、低介电常数的层间绝缘膜，且具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能形成良好的图案形状的大的显影容限，具体而言，其是含有使下述的化合物（1）与化合物（2）进行水解缩合反应而得到的聚硅氧烷化合物、光产酸剂及有机溶剂的正型感光性组合物。R¹表示C1～4的烷基或C6～10的芳基，R²表示C2～10的2价烃基，R³表示C2～10的2价饱和脂肪族烃基，X¹及X²表示酸解离性溶解抑制基团，X³表示式（3）或（4）所示的基团（详细情况参照说明书）。m为0～5，n为0～5，p为1～5，且为满足m+n+p=3～6的数。R⁴表示C6～10的芳基，R⁵及R⁶表示C1～4的烷基，a表示2或3的数。

主权项

1.一种正型感光性组合物，其特征在于，其含有：作为（A）成分的、使下述通式（1）表示的环状硅氧烷化合物和下述通式（2）表示的烷氧基硅烷化合物进行水解缩合反应而得到的聚硅氧烷化合物，作为（B）成分的光产酸剂，及作为（C）成分的有机溶剂，式（1）中，R¹表示碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，R²表示碳原子数为2～10的2价的烃基，R³表示碳原子数为2～10的2价的饱和脂肪族烃基，X¹及X²表示可相同也可不同的酸解离性溶解抑制基团，X³表示下述通式（3）表示的基团或下述通式（4）表示的基团，m表示0～5的数，n表示0～5的数，p表示1～5的数，其中，m+n+p为3～6的数，式（2）中，R⁴表示碳原子数为6～10的芳基，R⁵及R⁶分别独立地表示可相同也可不同的碳原子数为1～4的烷基，a表示2或3的数，式（3）中，R⁷表示碳原子数为2～10的2价的饱和烃基，R⁸及R⁹分别独立地表示可相同也可不同的碳原子数为1～4的烷基，b表示2或3的数，式（4）中，R¹⁰表示从分子量为1000以下的二乙烯基化合物或三乙烯基化合物中除去乙烯基得到的残基，R¹¹及R¹²分别独立地表示可相同也可不同的碳原子数为1～4的烷基，c表示2或3的数，d表示1或2的数。