[发明专利]正型感光性组合物

权利要求书

1.一种正型感光性组合物，其特征在于，其含有：

作为（A）成分的、使下述通式（1）表示的环状硅氧烷化合物和下述通式（2）表示的烷氧基硅烷化合物进行水解缩合反应而得到的聚硅氧烷化合物，

作为（B）成分的光产酸剂，及

作为（C）成分的有机溶剂，

式（1）中，R¹表示碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，R²表示碳原子数为2～10的2价的烃基，R³表示碳原子数为2～10的2价的饱和脂肪族烃基，X¹及X²表示可相同也可不同的酸解离性溶解抑制基团，X³表示下述通式（3）表示的基团或下述通式（4）表示的基团，m表示0～5的数，n表示0～5的数，p表示1～5的数，其中，m+n+p为3～6的数，

式（2）中，R⁴表示碳原子数为6～10的芳基，R⁵及R⁶分别独立地表示可相同也可不同的碳原子数为1～4的烷基，a表示2或3的数，

式（3）中，R⁷表示碳原子数为2～10的2价的饱和烃基，R⁸及R⁹分别独立地表示可相同也可不同的碳原子数为1～4的烷基，b表示2或3的数，

式（4）中，R¹⁰表示从分子量为1000以下的二乙烯基化合物或三乙烯基化合物中除去乙烯基得到的残基，R¹¹及R¹²分别独立地表示可相同也可不同的碳原子数为1～4的烷基，c表示2或3的数，d表示1或2的数。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其进一步含有作为（D）成分的含环氧基的硅氧烷化合物。

3.一种永久抗蚀剂，其特征在于，其是由权利要求1或2所述的正型感光性组合物得到的。