[发明专利]一种发光二极管及其缓冲层的制备方法无效
申请号: | 201210366990.1 | 申请日: | 2012-09-28 |
公开(公告)号: | CN103700743A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 林桂荣;庄文荣;孙明;颜建锋;敖辉 | 申请(专利权)人: | 江苏汉莱科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/32;C23C16/455;C23C16/34 |
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地址: | 213164 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种发光二极管及其缓冲层的制备方法,所述发光二极管包括:蓝宝石衬底,依次形成于蓝宝石衬底上的缓冲层、N型半导体层、有源发光层、P型半导体层,所述的缓冲层材料为InxGa1-xN,在整个外延缓冲层生长过程中,缓冲层中In、Ga的含量处于梯度变化的过程,x是不断变化的过程,x从开始的1到缓冲层生长结束时为0,即缓冲层中In的量是不断递减的过程,Ga的量是不断递增的过程。 | ||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 及其 缓冲 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管,其依次包括蓝宝石衬底、缓冲层、N型半导体层、有源发光层、P型半导体层,其特征在于缓冲层为InxGa1‑xN,沿蓝宝石衬底往上x为递减,即在缓冲层中In的含量从下至上递减,Ga的含量从下至上递增,0≤x≤1。
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