[发明专利]一种螺旋圆形微电感器件及其制备方法

摘要

一种螺旋结构微电感器件及其制备方法。该产品及其制备属于微电子技术领域，该微电感器件包括衬底、引脚、螺线管线圈、磁芯、聚酰亚胺绝缘材料，线圈以衬底为基础，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端连接引脚，线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过聚酰亚胺与磁芯隔开，磁芯材料包括底层磁芯材料和顶层磁芯材料，螺旋线圈位于底层磁芯材料和顶层磁芯材料之间并用聚酰亚胺分开，其采用的加工方法为：溅射、甩胶、光刻、显影、刻蚀对准符号；粘结磁芯材料、甩胶、光刻、显影、刻蚀磁芯材料；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射、甩胶、光刻、显影、电镀、制作线圈、引线及引脚。本发明使微电感器件的高频损耗大大降低，有效提高了器件的高频性。

主权项

一种螺旋结构微电感器件，主要包括单位元件：衬底、引脚、螺线管线圈、磁芯、聚酰亚胺绝缘材料，其特征在于线圈以衬底为基础，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端连接引脚，线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过聚酰亚胺与磁芯隔开，磁芯材料包括底层磁芯材料和顶层磁芯材料，螺旋线圈位于底层磁芯材料和顶层磁芯材料之间并用聚酰亚胺分开；具体采用如下方法制备：（1）在衬底的一面上溅射40‑60nm厚的Ni层，甩厚为1‑3μm光刻胶，烘干，温度为70‑90℃，曝光，显影，刻蚀Ni层，丙酮去光刻胶，甩厚为1‑3μm聚酰亚胺，固化，得到双面套刻对准符号；在衬底的另一面上淀积Zn底层，步骤同上，（2）在Zn层上做如下工艺：甩正胶，烘干，双刻线圈图形、曝光，显影，电镀底层线圈；方法同上，分别电镀铜连接导体、引脚、然后去除光刻胶和Zn层，甩聚酰亚胺，烘干固化，再抛，（3）溅射Pb保护层；粘结铁基非晶薄膜，甩正胶，烘干，双面套刻曝光与显影；刻蚀基非晶薄膜；去正胶；刻蚀Pb保护层，（4）方法同上对磁芯材料和环氧胶进行处理。