[发明专利]导孔链接构与测试方法有效
| 申请号： | 201210277043.5 | 申请日： | 2012-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN102916000A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 菲力普·J·爱尔兰;江文松 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导孔链测试结构，包括基板、位于基板上的绝缘层、位于绝缘层上的第一导孔链、位于第一导孔链两侧的绝缘层上的第二导孔链，而处于第一导孔链的热效周围且位于基板下方的第一热源，以提供第一导孔链热能、以及用以加热第二导孔链的电流源，使得第二导孔链作为第一导孔链的第二热源。 | ||
| 搜索关键词： | 链接 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种导孔链测试结构，其特征在于，包含：一基板；位于所述基板上的一绝缘层；位于所述绝缘层上的一第一导孔链；一第二导孔链，位于所述第一导孔链两侧的所述绝缘层上，并位于所述第一导孔链的热效周围；一第一热源，位于所述基板下方，以提供所述第一导孔链热能；以及一电流源，以加热所述第二导孔链，使得所述第二导孔链作为所述第一导孔链的一第二热源。
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