[发明专利]在角应力消除区域上方具有探针焊盘的半导体芯片有效

专利信息
申请号: 201210192136.8 申请日: 2012-06-11
公开(公告)号: CN102881661A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 杨宗颖;陈宪伟 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/00 分类号: H01L23/00;H01L23/58
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 在角应力消除区域上方具有探针焊盘的半导体芯片包括:电路区域和角应力消除(CSR)区域。CSR区域位于半导体芯片的角部。被测器件(DUT)或功能电路被设置在电路区域上方。探针焊盘被设置在CSR区域上方。金属线从电路区域延伸到CSR区域,从而将探针焊盘与DUT结构或功能电路电连接。
搜索关键词: 应力 消除 区域 上方 具有 探针 半导体 芯片
【主权项】:
一种半导体芯片,包括:电路区域和角应力消除CSR区域,所述CSR区域为所述半导体芯片的角部;被测器件DUT结构或者功能电路,被设置在所述电路区域上方;探针焊盘,被设置在所述CSR区域上方;以及金属线,从所述电路区域延伸至所述CSR区域,从而将所述探针焊盘电连接至所述DUT结构或所述功能电路。
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