[发明专利]晶片封装结构及其制作方法有效
申请号: | 201210192120.7 | 申请日: | 2012-06-11 |
公开(公告)号: | CN102820264A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 李宏仁;张恕铭;江承翰;刘沧宇;何彦仕 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;H01L21/50;H01L23/485;H01L23/488;H01L23/31 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾桃园县中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种晶片封装结构及其制作方法,该晶片封装结构的制作方法包括:提供一第一基板,其定义有多个预定切割道;将一第二基板接合至第一基板,其中第一基板与第二基板之间具有一间隔层,间隔层具有多个晶片支撑环、一切割支撑结构、多个阻挡环、以及一间隙图案,晶片支撑环分别位于元件区中,切割支撑结构位于晶片支撑环的周围,阻挡环分别围绕晶片支撑环,间隙图案分隔开阻挡环、切割支撑结构以及晶片支撑环;以及沿着预定切割道切割第一基板与第二基板,以形成多个晶片封装结构。本发明使经切割后的基板的边缘可保持较为完整的形状,进而提升切割而成的晶片封装结构的可靠度。 | ||
搜索关键词: | 晶片 封装 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种晶片封装结构的制作方法,其特征在于,包括:提供一第一基板,其定义有多个预定切割道,所述预定切割道于该第一基板上划分出多个元件区;将一第二基板接合至该第一基板,其中该第一基板与该第二基板之间具有一间隔层,该间隔层具有多个晶片支撑环、一切割支撑结构、多个阻挡环以及一间隙图案,所述晶片支撑环分别位于所述元件区中,该切割支撑结构位于所述晶片支撑环的周围,所述阻挡环分别围绕所述晶片支撑环,其中各该阻挡环位于对应的该晶片支撑环与该切割支撑结构之间,该间隙图案分隔开所述阻挡环、该切割支撑结构以及所述晶片支撑环;以及沿着所述预定切割道切割该第一基板与该第二基板,以形成多个晶片封装结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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