[发明专利]晶片封装结构及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201210192120.7 申请日: 2012-06-11
公开(公告)号: CN102820264A 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 李宏仁;张恕铭;江承翰;刘沧宇;何彦仕 申请(专利权)人: 精材科技股份有限公司
主分类号: H01L21/78 分类号: H01L21/78;H01L21/50;H01L23/485;H01L23/488;H01L23/31
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 中国台湾桃园县中*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种晶片封装结构及其制作方法,该晶片封装结构的制作方法包括:提供一第一基板,其定义有多个预定切割道;将一第二基板接合至第一基板,其中第一基板与第二基板之间具有一间隔层,间隔层具有多个晶片支撑环、一切割支撑结构、多个阻挡环、以及一间隙图案,晶片支撑环分别位于元件区中,切割支撑结构位于晶片支撑环的周围,阻挡环分别围绕晶片支撑环,间隙图案分隔开阻挡环、切割支撑结构以及晶片支撑环;以及沿着预定切割道切割第一基板与第二基板,以形成多个晶片封装结构。本发明使经切割后的基板的边缘可保持较为完整的形状,进而提升切割而成的晶片封装结构的可靠度。
搜索关键词: 晶片 封装 结构 及其 制作方法
【主权项】:
一种晶片封装结构的制作方法,其特征在于,包括:提供一第一基板,其定义有多个预定切割道,所述预定切割道于该第一基板上划分出多个元件区;将一第二基板接合至该第一基板,其中该第一基板与该第二基板之间具有一间隔层,该间隔层具有多个晶片支撑环、一切割支撑结构、多个阻挡环以及一间隙图案,所述晶片支撑环分别位于所述元件区中,该切割支撑结构位于所述晶片支撑环的周围,所述阻挡环分别围绕所述晶片支撑环,其中各该阻挡环位于对应的该晶片支撑环与该切割支撑结构之间,该间隙图案分隔开所述阻挡环、该切割支撑结构以及所述晶片支撑环;以及沿着所述预定切割道切割该第一基板与该第二基板,以形成多个晶片封装结构。
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