[发明专利]MEMS电容性压力传感器、操作方法和制造方法有效
| 申请号： | 201210135456.X | 申请日： | 2012-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN102768093A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林;克劳斯·莱曼;皮特·杰勒德·斯蒂内肯;奥拉夫·温尼克;雷奥特·沃尔特杰尔 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS压力传感器，其中电极布置中至少之一包括内电极和绕内电极设置的外电极。该传感器设置在集成电路上。可以单独测量并且可以差分地测量与内电极和外电极相关联的电容。该布置使得能够实现各种不同读出方案，并且还实现了针对器件之间变化或器件特性随时间改变的改进补偿。 | ||
| 搜索关键词： | mems 电容 压力传感器 操作方法 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感器，包括：相对的电极布置，其中，电极布置之一悬置在另一电极布置之上，使得该电极布置响应于施加的压力可移动；以及用于根据电极布置之间的电容导出输出的装置，其中下部电极布置包括由相同金属层形成的内电极(50)和外电极(52)，外电极绕内电极设置，其中下部电极布置设置在具有顶部金属互连层的集成电路之上，以及其中内电极和外电极通过一组垂直过孔电连接至下方的顶部金属互连层的连接部分。
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