[发明专利]臂型搬运装置有效
申请号: | 201210088954.3 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102738038A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 佐伯亨;三重野靖理;占部雄士;增井阳二;神垣敏雄 | 申请(专利权)人: | 昕芙旎雅有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种不伴随用于保持搬运对象物的手端操作装置的大型化、传感器的损伤、搬运效率的降低而能够适当地检测搬运对象物的保持状态的臂型搬运装置。其具有:臂机构,借助关节部将多个连杆以在水平面内能转动的方式相连接而构成,多个连杆包括保持搬运对象物的第一连杆;传感器,安装在构成臂机构的多个连杆中的、比第一连杆靠基端侧的连杆,检测在与安装位置相对应地确定的检测位置是否存在搬运对象物,传感器的安装位置设定为:在向使第一连杆接近安装有传感器的连杆的方向转动驱动关节部时,被正确地保持在第一连杆上的搬运对象物能通过检测位置而对该搬运对象物进行检测。 | ||
搜索关键词: | 搬运 装置 | ||
【主权项】:
一种臂型搬运装置,其特征在于,该臂型搬运装置具有:臂机构,其借助关节部将多个连杆以在水平面内能够转动的方式相连接而构成,该多个连杆包括用于保持搬运对象物的第1连杆;传感器,其安装在构成上述臂机构的多个连杆中的、比上述第一连杆靠基端侧的连杆上,用于检测在与安装位置相对应地确定的检测位置是否存在有上述搬运对象物,上述传感器的安装位置设定为:在向使上述第一连杆接近安装有上述传感器的连杆的方向转动驱动上述关节部的情况下,被正确地保持在上述第一连杆上的搬运对象物能够通过上述检测位置而对该搬运对象物进行检测。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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