[发明专利]臂型搬运装置有效
申请号: | 201210088954.3 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102738038A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 佐伯亨;三重野靖理;占部雄士;增井阳二;神垣敏雄 | 申请(专利权)人: | 昕芙旎雅有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 搬运 装置 | ||
1.一种臂型搬运装置,其特征在于,
该臂型搬运装置具有:臂机构,其借助关节部将多个连杆以在水平面内能够转动的方式相连接而构成,该多个连杆包括用于保持搬运对象物的第1连杆;传感器,其安装在构成上述臂机构的多个连杆中的、比上述第一连杆靠基端侧的连杆上,用于检测在与安装位置相对应地确定的检测位置是否存在有上述搬运对象物,
上述传感器的安装位置设定为:在向使上述第一连杆接近安装有上述传感器的连杆的方向转动驱动上述关节部的情况下,被正确地保持在上述第一连杆上的搬运对象物能够通过上述检测位置而对该搬运对象物进行检测。
2.根据权利要求1所述的臂型搬运装置,其特征在于,
该臂型搬运装置具有判定部,该判定部计测在使上述搬运对象物以规定速度移动而从该搬运对象物的一端到另一端通过上述检测位置所需的时间,根据计测出的时间与该搬运对象物被保持在上述第一连杆的规定位置的规定时间之间的误差,来判定上述搬运对象物是否从上述规定位置偏移。
3.一种臂型搬运装置,其特征在于,
该臂型搬运装置具有:臂机构,其以使用于保持正圆形搬运对象物的连杆借助旋转轴在水平面内能够转动的方式将该连杆安装在基座构件上;边缘检测部,其与上述旋转轴一起安装在上述基座构件上,用于检测正圆形搬运对象物的边缘是否位于与安装位置相对应地确定的检测位置;旋转角度检测部,其用于检测上述连杆相对于上述基座构件的旋转角度;中心位置计算部,其基于在正圆形搬运对象物的边缘通过上述边缘检测部时由旋转角度检测部检测出的对应的旋转角度,计算出正圆形搬运对象物相对于上述连杆的中心位置。
4.根据权利要求3所述的臂型搬运装置,其特征在于,
该臂型搬运装置具有基于利用上述中心位置计算部计算出的中心位置来检测正圆形搬运对象物的位置偏移的中心位置偏移判定部,该中心位置偏移判定部基于被预先赋予的基准中心位置和上述中心位置计算部计算出的被载置在连杆上的应测定的正圆形搬运对象物的实际中心位置,来判定从上述基准中心位置到上述实际中心位置的中心位置偏移。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造