[发明专利]一种热板和用于该热板的晶圆自定位装置及方法

摘要

本发明涉及一种热板和用于该热板的晶圆自定位装置及方法，通过设置至少三个可转动的挡片，来替代原先热板上的若干限位垫圈，在热板上的中心位置围成一个圆形的限位空间；而当晶圆的传送位置有偏差而没有进入该限位空间之内时，通过使该些挡片转动至与热板表面基本垂直，可以将晶圆推送到正确的加热位置。因此，本发明能够避免因为晶圆传送的惯性漂移，而造成热板上的晶圆倾斜状况的发生，有效避免晶圆的返工，减少低良率风险。

主权项

一种用于热板的晶圆自定位装置，其特征在于，所述晶圆自定位装置包含在热板（10）上设置的多个挡片（11）；每个挡片（11）能够绕其与所述热板（10）连接的支点进行转动，从而改变该挡片（11）与热板（10）的上表面之间的夹角θ；多个所述挡片（11）在所述热板（10）的上表面围成一个限位空间（12）；所述限位空间（12）的形状尺寸，与传送到所述热板（10）上准备进行热处理的晶圆（20）的形状尺寸相匹配；传送时位置发生偏差的晶圆（20），会遮挡热板（10）上的其中若干个挡片（11）；当被遮挡的若干个挡片（11）转动一定角度时，会与偏离的晶圆（20）相接触，从而产生合力将偏离的晶圆（20）推送到所述限位空间（12）内。