[发明专利]发光二极管及其制造方法无效
申请号: | 201210029237.3 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN103066168A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 邱信嘉;林忠欣;吴奇隆;张瑞君 | 申请(专利权)人: | 奇力光电科技股份有限公司;佛山市奇明光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种发光二极管及其制造方法。发光二极管的制造方法的步骤包括:提供一第一基板,并于该第一基板上形成一外延部;形成至少一反射镜层于该外延部上;形成一隔离金属部于该反射镜层上;应用一蚀刻制作工艺,蚀刻该外延部与该隔离金属部,进而形成至少一外延层与至少一隔离金属层,且每一个外延层间具有一蚀刻通道,且该隔离金属层包覆该反射镜层并完全覆盖该外延层的表面;形成一第一接合层于该隔离金属层之上;以及形成一第二基板于该第一接合层之上,并移除该第一基板。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管的制造方法,包括:提供一第一基板,并于该第一基板上形成一外延部;形成至少一反射镜层于该外延部上;形成一隔离金属部于该反射镜层上;应用一第一蚀刻制作工艺,蚀刻该外延部与该隔离金属部,进而形成至少一外延层与至少一隔离金属层,且每一个外延层间具有一蚀刻通道,且该隔离金属层包覆该反射镜层并完全覆盖该外延层的表面;形成一第一接合层于该隔离金属层之上;以及形成一第二基板于该第一接合层之上,并移除该第一基板。
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