[发明专利]感光性树脂组合物

摘要

本发明提供一种碱显影性的负型感光性树脂组合物以及使用了该感光性树脂组合物的永久抗蚀剂，所述负型感光性树脂组合物的透明性、耐化学试剂性、耐热性及碱显影性优异，而且作为永久抗蚀剂的耐热性及耐经时变化性优异，适合作为绝缘层。具体而言，提供一种感光性树脂组合物，其含有下述聚硅氧烷化合物以及光自由基产生剂，所述聚硅氧烷化合物是通过将特定的不饱和硅烷化合物、特定的硅烷化合物以及特定的环状硅氧烷化合物进行水解缩合反应而得到的。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其含有下述聚硅氧烷化合物以及光自由基产生剂，所述聚硅氧烷化合物是通过将下述通式（1）表示的不饱和硅烷化合物、下述通式（2）表示的硅烷化合物以及下述通式（3）表示的环状硅氧烷化合物进行水解缩合反应而得到的，通式（1）中，R¹表示氢原子或甲基，R²表示碳原子数为2～6的2价的饱和烃基，R³表示碳原子数为1～4的烷基，X¹表示碳原子数为1～4的烷氧基或氯原子，a表示2或3的数，通式（2）中，R⁴表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，X²表示碳原子数为1～4的烷氧基或氯原子，b表示1或2的数，通式（3）中，R⁵表示碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，X³表示下述通式（4）表示的基团或下述通式（5）表示的基团，c表示每1分子中下述通式（4）表示的基团的数目即1～5的数，d表示每1分子中下述通式（5）表示的基团的数目即1～5的数，其中c+d为3～6的数，通式（4）中，R⁶表示碳原子数为2～8的2价的烃基，通式（5）中，R⁷表示碳原子数为2～8的2价的脂肪族烃基，R⁸及R⁹表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基，e表示2或3的数。