[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201180056670.X | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103229103A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 岩岛智幸;松本拓也;末吉孝;竹之内宏美;尾见仁一 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾迪科 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;C08F290/06;C08G77/20;G03F7/004 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张楠;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种感光性树脂组合物，其含有下述聚硅氧烷化合物以及光自由基产生剂，所述聚硅氧烷化合物是通过将下述通式（1）表示的不饱和硅烷化合物、下述通式（2）表示的硅烷化合物以及下述通式（3）表示的环状硅氧烷化合物进行水解缩合反应而得到的，
通式（1）中，R1表示氢原子或甲基，R2表示碳原子数为2～6的2价的饱和烃基，R3表示碳原子数为1～4的烷基，X1表示碳原子数为1～4的烷氧基或氯原子，a表示2或3的数，
通式（2）中，R4表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，X2表示碳原子数为1～4的烷氧基或氯原子，b表示1或2的数，
通式（3）中，R5表示碳原子数为1～4的烷基或碳原子数为6～10的芳基，X3表示下述通式（4）表示的基团或下述通式（5）表示的基团，c表示每1分子中下述通式（4）表示的基团的数目即1～5的数，d表示每1分子中下述通式（5）表示的基团的数目即1～5的数，其中c+d为3～6的数，
通式（4）中，R6表示碳原子数为2～8的2价的烃基，
通式（5）中，R7表示碳原子数为2～8的2价的脂肪族烃基，R8及R9表示可以相同也可以不同的碳原子数为1～4的烷基，e表示2或3的数。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其含有其它的多官能丙烯酸化合物。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其含有多官能环氧化合物。
4.一种永久抗蚀剂，其是由权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物得到的。
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