[实用新型]一种半导体高温扩散炉管无效
| 申请号： | 201120014548.3 | 申请日： | 2011-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN201942793U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李秉永;吕明;郭城 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 张维斗 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的是一种半导体高温扩散或钝化等过程中生产设备，尤其是一种半导体高温扩散炉管。本实用新型公开了一种半导体高温扩散炉管，包括有炉体（8）、进气管（5）、炉帽，其特在于：在所述炉体（8）的进气管（5）上设置气体缓冲室（4）。由于在该方案中，在炉体进气口采用气体缓冲室设计，防止气体通入时过量或不足，使气体通入保持均匀，从而保证晶圆表面温度的变化相对稳定。同时具备一个预热的过程。且该设备结构简单、安装方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 高温 扩散 炉管 | ||
【主权项】：
一种半导体高温扩散炉管，包括有炉体（8）、进气管（5）、炉帽，其特在于：在所述炉体（8）的进气管（5）上设置气体缓冲室（4）。
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