[发明专利]一种透射电子显微镜的物镜线圈

摘要

本发明属于微纳测控技术领域，具体涉及一种透射电子显微镜的物镜线圈，该物镜线圈由物镜线框组件、漆包线、中间圆板、屏蔽半圆环A和屏蔽半圆环B组成。物镜线框组件包括上水套组件、下水套组件和芯套。芯套具有上部凸台、中部凸台A、中部凸台B和下部凸台，上水套组件和下水套组件结构相同，上水套组件由上水套板、上隔水板和上水套盖组成；下水套组件由下水套板、下隔水板和下水套盖组成。上水套板通过四周氩弧焊焊接在上部凸台上，上水套盖穿过上部凸台顶端，通过四周氩弧焊焊接在上水套板的顶部。本发明中上水套组件和下水套组件分别对物镜的上线包和下线包进行冷却，冷却效果好，采用高温控精度的冷水机，温度波动小，精度高。

主权项

一种透射电子显微镜的物镜线圈，其特征在于：包括物镜线框组件、漆包线、中间圆板、屏蔽半圆环A和屏蔽半圆环B；物镜线框组件包括上水套组件、下水套组件和芯套；所述的芯套为内部中空、外部具有四阶凸台的圆柱形结构，从顶端至低端顺次为上部凸台、中部凸台A、中部凸台B和下部凸台，所述的上水套组件和下水套组件结构相同，上水套组件由上水套板、上隔水板和上水套盖组成；所述的下水套组件由下水套板、下隔水板和下水套盖组成；所述的上水套板为中空圆环形水槽结构，上水套板通过四周氩弧焊焊接在上部凸台上，上水套盖穿过上部凸台顶端，通过四周氩弧焊焊接在上水套板的顶部；所述的下水套板也为中空圆环形水槽结构，下水套板通过四周氩弧焊焊接在下部凸台上，下水套盖穿过下部凸台底端，通过四周氩弧焊焊接在下水套板的底部；上水套板和下水套板上的圆环形水槽结构的水槽内壁上均设置有一个凹槽，分别用于卡装上隔水板和下隔水板；所述的漆包线包括上线包和下线包，所述的中间圆板卡装在中部凸台B上；中间圆板与上水套组件的上水套板之间的中部凸台A上固定上线包；中间圆板与下水套组件的下水套板之间固定下线包；所述的屏蔽半圆环A和屏蔽半圆环B为半圆环结构，通过螺纹连接对称地固定在上水套组件、下水套组件和漆包线的外围。